(I)納米TiO2光催化降解原理
具有納米半導體粒子的量子尺寸效應使其導帶和價帶能級變為三能級，能隙變寬，導帶變負，而價帶帶寬變得更正，即在光催化作用下具有很強的氧化／還原能力，從而提高了其光催化活性。
(2)紫外光催化降解VOCs原理
在高能高臭氧UV紫外光束的照射下，有機廢氣分解空氣中的氧分子，產生自由氧，即活性氧，由于自由氧攜帶的正負電子不平衡，因此需要與氧分子結合，從而產生臭氧。由于得到了復合離子光子的能量，臭氧在紫外條件下可以極快地分解，分解后產生更多的氧化自由基，如0,OH,H20等。OH,H20與惡臭氣體發生了一系列協同、連鎖反應，惡臭氣體***終被氧化降解為低分子物質，水和二氧化碳，從而達到***終的除臭目的。
（3）低溫等離子體涂裝有機廢氣降解原理
低溫等離子體的凈化機制包括兩個方面：一是在產生等離子體的過程中，由高頻放電產生的瞬時高能量，足以打開某些有害氣體分子內部的化學鍵，將其分解成單質原子或無害分子；二是在等離子體中，含有大量高能電子，正、負離子，激發態粒子，以及具有強氧化性的自由基，這些活性粒子與部分臭氣分子碰撞碰撞而結合，在電場作用下，使臭氣分子進入激發態。在臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能結合能的情況下，它的化學鍵會斷裂，直接分解為單質原子或由單原子組成的無害氣體分子。大量的OH，-HO2，-O等活性自由基和氧化能力極強的O3同時與有害氣體分子發生化學反應，***終形成無害的產物。
（4）等離子一體機協同降解有機廢氣原理
總結：光氧催化等離子一體機聯合處理有機廢氣，充分發揮各自的優點。能很好的去除惡臭氣體，使用中避免高溫環境，也不要和電廠一起使用，有爆炸風險。
該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。
等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。
